Aparelhos e dispositivos mecânicos e instalações constituídas a partir destes para a elaboração de substratos, a saber, substratos semicondutores, discos de silício, pastilhas de semicondutor e fotomáscaras, discos compactos (CD-áudio, CD/DVD-Rom, CD-R, DVD, DVD-Ram) e discos a laser; máquinas químicas por via úmida e instalações compostas a partir destas para o tratamento de substratos, a saber, substratos semicondutores, discos de silício, pastilhas de semicondutor e fotomáscaras, discos compactos (CD-áudio, CD/DVD-Rom, CD-R, DVD, DVD-Ram) e discos a laser; máquinas automáticas e instalações compostas a partir destas para limpeza, esmaltagem desenvolvimento, ataque químico e decapagem de substratos, a saber, subastratos semicondutores, discos de silício, pastilhas de semicondutor e fotomáscaras, discos compactos (CD-áudio, CD/DVD-Rom, CD-R, DVD, DVD-Ram) e discos a laser.