SENSORES, INSTRUMENTOS ELÉTRICOS, CALIBRADORES, INTERRUPTORES E CONTADORES PARA MEDIR E CONTROLAR A PRESSÃO DE FLUIDOS, O FLUXO DE PRESSÃO, VÁCUO E GÁS; APARELHOS PARA ANÁLISE DE GASES RESIDUAIS; MONITORES PARA A DETECÇÃO DE COMPOSIÇÕES GASOSAS COM RECÂMARA DE PROCESSAMENTO; ESPECTÔMETROS DE MASSA; ADAPTADORES; ADAPTADORES ELÉTRICOS PARA INTERFACE ANALÓGICA-DIGITAL; EQUIPAMENTOS (HARDWARE) DE COMPUTAÇÃO UTILIZADOS PARA A MEDIÇÃO E CONTROLE DE PRESSÃO DE FLUIDOS, FLUXO DE VÁCUO E GÁS; PROVEDORES E GERADORES DE ENERGIA DE RÁDIO FREQÜÊNCIA, CORRENTE DIRETA E MICROONDAS; GERADORES DE ENERGIA PARA PRODUZIR ENERGIA A PARTIR DE REAÇÕES QUÍMICAS DE GASES; VÁLVULAS DE PRESSÃO DE GÁS E FLUIDOS, FLANGES E ACESSÓRIOS PARA CONTROLAR, CONTER, ISOLAR E INTERROMPER O FLUXO DE GASES E FLUIDOS; BARRAS DE GÁS COMPOSTAS POR CONTROLADORES DE FLUXO GASOSO, TRANSDUCTORES DE PRESSÃO, VÁVULAS DE CONTROLE, VÁLVULAS DE ISOLAMENTO E VOLUMES; DETETORES DE PERDA DE GÁS HÉLIO; DETETORES E ANALIZADORES DE GÁS; EQUIPAMENTOS DE CALIBRAÇÃO PARA O MONITORAMENTO A AJUSTE DE FLUXO E PRESSAO DE GÁS E FLUIDOS; SIFÕES PARA CAPTURAR OS DESPERDÍCIOS QUE EMANAM DA CÂMARA DE PROCESSAMENTO; SISTEMA DE CONDUÇÃO DE LÍQUIDOS COMPOSTO POR PRINCIPALMENTE UMA BOMBA, VAPORIZADOR, E CONTROLADOR PARA A VAPORIZAÇÃO DE UM LÍQUIDO A GÁS E CONDUÇÃO DE GÁS À CÂMARA DE PROCESSAMENTO; EQUIPAMENTOS DE COMPUTAÇÃO (HARDWARE) E PROGRAMAS (SOFTWARE) PARA MEDIR A TRANSMISSÃO, ÍNDICE DE REFLEXÃO, DENSIDADE ÓTICA E ESPESSURA DE PELÍCULAS DE METAL FINAS, E PARA PROVER IMAGENS TOPOGRÁFICAS DAS MESMAS; PROGRAMAS DE COMPUTADOR PARA OPERAR ESPECTÔMETROS ÓTICOS; PROGRAMAS DE COMPUTADOR PARA OPERAR ESPECTÔMETROS DE MASSA; EQUIPAMENTOS DE COMPUTADOR (HARDWARE) E PROGRAMAS DE COMPUTADOR (SOFTWARE) PARA DETERMINAR A PRESENÇA E MEDIR OS CONTAMINANTES RESIDUAIS; DISPOSITIVOS DE MICROPROCESSADOR BASEADOS NA COMUNICAÇÃO DE INFORMAÇÃO PARA A COMUNICAÇÃO ENTRE ANALIZADORES QUADRAPOLE DE MASSAS GASOSAS OU ANALIZADORES DE MASSA DE FLUIDOS; DISPOSITIVOS UTILIZADOS PARA GERAR ONDAS DE RADIO E PLASMA DE MICROONDAS; GERADORES DE GÁS REATIVOS INCLUINDO FONTES DE PLASMA REMOTAS E GERADORES DE OZÔNIO; CONTROLADORES, EQUIPAMENTOS DE COMPUTAÇÃO (HARDWARE) E PROGRAMAS DE COMPUTAÇÃO (SOFTWARE) PARA SEREM UTILIZADOS NO MONITORAMENTO E CONTROLE DA GERAÇÃO DE FLUIDOS, VÁCUO E GÁS, DISPOSITIVOS DE FLUXO, DETECÇÃO, ANÁLISE E CONDUÇÃO; AMPLIFICADORES DE RÁDIO FREQÜÊNCIA E GERADORES DE ENERGIA DE RÁDIO FREQÜÊNCIA; GERADORES DE CORRENTE DIRETA.